Bereits 1738 nutzte der Schweizer Wissenschaftler Daniel Bernoulli die Differenzdruckmethode -basierend auf der ersten Bernoulli-Gleichung-, um den Wasserfluss zu messen. Später untersuchte der Italiener GB Venturi die Verwendung des Venturirohrs zur Durchflussmessung und veröffentlichte seine Ergebnisse im Jahr 1791.
Im Jahr 1886 nutzte der Amerikaner Clemens Herschel das Venturi-Rohrprinzip, um ein praktisches Gerät zur Messung des Wasserdurchflusses zu entwickeln.
Von Anfang bis Mitte des 20. Jahrhunderts entwickelten sich etablierte Messprinzipien allmählich weiter; Forscher beschränkten ihr Denken nicht länger auf bestehende Methoden, sondern beschritten stattdessen neue Forschungswege.
In den 1930er Jahren begannen sich Methoden zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Flüssigkeiten und Gasen mithilfe akustischer Wellen zu entwickeln. Allerdings wurden auf diesem Gebiet vor dem Zweiten Weltkrieg kaum nennenswerte Fortschritte erzielt; Erst 1955 wurde der Maxson-Durchflussmesser-der die akustische Zirkulationsmethode verwendete-zur Messung des Flugtreibstoffdurchflusses eingeführt.
Ab den 1960er Jahren begann sich die Durchflussmesstechnik in Richtung höherer Präzision und Miniaturisierung weiterzuentwickeln.
Mit der rasanten Weiterentwicklung der integrierten Schaltkreistechnologie erlangten Ultraschall-Durchflussmesser mit Phasenregelkreistechnologie eine weite Verbreitung. Darüber hinaus hat der umfangreiche Einsatz von Mikrocomputern die Möglichkeiten der Durchflussmessung erheblich verbessert; Beispielsweise ermöglichte die Integration von Mikrocomputern in Laser-Doppler-Geschwindigkeitsmesser die Verarbeitung komplexerer Signale.